酸碱性质的气体：

        首先将待处理气瓶连接到气体控制面板上，使用氮气置换pigtail部分，然后通过控制面板减压并控制流量，将需要处理的气体通入相应的洗涤塔，气体通过洗涤塔的塔身内部，塔身内壁为酸/碱水雾，碱性/酸性气体穿过水雾时和水雾中的酸/碱产生中和反应生成盐。酸性气体通入到碱洗涤塔，和洗涤塔中的碱进行酸碱反应生成盐分，碱性气体通入酸性洗涤塔。
适用气体：

       碱性气：NH3

       酸性气：HCl、HBr、F2 Mix 、 HF、CL2、H2S、SiH2Cl2、SiHCl3、SiCl4、BCl3、SO2等。

可燃分解类气体：

        首先将待处理气瓶连接到气体控制面板上，使用氮气置换pigtail部分，然后通过控制面板减压并控制流量，将需要焚烧的气体通入焚烧炉，使其燃烧或高温分解，降解为无害物质或者分解成可以被酸碱中和的物质，燃烧后的尾气被送入除尘设备除尘，然后被送入洗涤设备进行中和反应。

适用气体：

       可燃分解类气体：SiH4、PH3、PH3 Mix、B2H6、CH4、H2、 NF3、SF6等。